NPPP NanoProcessing Partnership Platform, Nanodevice Innovation Research Center, AIST

利用可能な加工、計測、分析、及び、評価装置のリスト

加工装置	電子ビーム描画装置
	スパッタ装置
	集束イオンビーム加工観察装置
	真空蒸着装置
	反応性イオンエッチング装置 (RIE)
	マスクレス任意パターン転写装置
	ダイシングソー
	i線露光装置
	アルゴンミリング装置
	電子線描画装置
	小型真空蒸着装置
	ウェハー酸化炉
	ワイヤーボンダー
	プラズマアッシャー
	UVクリーナー
	イオンコーター
	多元同時スパッタ装置
	多目的エッチング装置
	高速昇降温炉（RTA炉）
	スクライバー(リソグラフィ付帯装置)
	スピンコーター(リソグラフィ付帯装置)
	クリーンオーブン(リソグラフィ付帯装置)
	マッフル炉
	ウェハー圧着機
	ラッピングマシン（CMP）
	フォトリソグラフィー関連設備（ナノ計測）
	ジョセフソン接合作製装置（ナノ計測）
	反応性イオンエッチング（ナノ計測）
計測装置	走査型プローブ顕微鏡(SPM1)
	走査型プローブ顕微鏡2(SPM2)[SPM-9600]
	ナノサーチ顕微鏡(SPM3)
	短波長レーザ顕微鏡
	レーザー顕微鏡
	全焦点顕微鏡
	高分解能電界放出電子顕微鏡(FE-SEM)
	低真空走査電子顕微鏡
	触針式段差計
	分光エリプソメータ
	ワークステーション（走査型プローブ顕微鏡用）
	顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR)
	顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN)
	磁気特性測定システム（MPMS）
	陽電子欠陥測定装置（ナノ計測）
	触芯式段差計 αステップ（ナノ計測）
	表面プローブ顕微鏡1（ナノ計測）
	ナノ秒可視・近赤外蛍光寿命計測装置（ナノ計測）
	ナノ秒可視・近赤外・マイクロ波過渡吸収分光装置（ナノ計測）
	ピコ秒可視蛍光寿命計測装置（ナノ計測）
	ピコ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置（ナノ計測）
	表面プローブ顕微鏡2と前処理装置（ナノ計測）
分析装置	X線回折装置
	微小部蛍光X線分析装置
	イオン価数弁別MALDI TOF質量分析装置（ナノ計測）
	イオン価数弁別ESI TOF質量分析装置（ナノ計測）
	SSLD MALDI TOF質量分析装置（ナノ計測）
	イオン価数弁別二重収束質量分析装置（ナノ計測）
	固体NMR装置(1)（ナノ計測）
	固体NMR装置(2)（ナノ計測）
	固体NMR装置(3)（ナノ計測）
	固体NMR装置(4)（ナノ計測）
評価装置	デバイスパラメータ評価装置
	磁気光学効果評価装置
	デバイス容量評価装置