HOME
********
Japanese
/
English
NPPP 装置予約状況カレンダー
2012�702月05日
June, 2009
Sun
Mon
Tue
Wed
Thu
Fri
Sat
a
a
a
1
a
a
2
a
a
3
a
a
4
a
a
5
a
a
6
a
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
a
28
a
a
29
a
a
30
a
a
a
a
a
a
a
a
a
July, 2009
Sun
Mon
Tue
Wed
Thu
Fri
Sat
a
a
a
a
a
a
a
1
a
a
2
a
a
3
a
a
4
a
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
a
26
a
a
27
a
a
28
a
a
29
a
a
30
a
a
31
a
a
a
********* 装置を選択してカレンダー上の目的の日付をクリックしてください ********
電子ビーム描画装置
スパッタ装置
走査型プローブ顕微鏡
高分解能電界放出電子顕微鏡(FE-SEM)
集束イオンビーム加工観察装置
真空蒸着装置
反応性イオンエッチング装置 (RIE)
マスクレス任意パターン転写装置
低真空走査電子顕微鏡
X線回折装置
ダイシングソー
i線露光装置
アルゴンミリング装置
デバイスパラメータ評価装置
電子線描画装置
小型真空蒸着装置
触針式段差計
レーザー顕微鏡
ウェハー酸化炉
分光エリプソメータ
ワイヤーボンダー
エックス線光電子分光(XPS)分析装置
プラズマアッシャー
UVクリーナー
イオンコーター
磁気光学効果評価装置
デバイス容量評価装置
ワークステーション（走査型プローブ顕微鏡用）
TEM用イオンミリング装置
イオンビームスパッタ装置
時間分解顕微鏡
短波長レーザ顕微鏡