趣旨

本スクールは、文部科学省ナノテクノロジー・ネットワーク事業の一環として、産学官の研究者に、 超微細加工・ナノ計測・分析 に関する装置やその原理を学習する場と、それらの技術を実地に習得する機会を提供し、ナノテクノロジーにおける人材育成に貢献することを目的としています。

　プログラム

本年度のスクールでは、講義 6 コマをつくばで開催し、実習 6 科目を 産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、東京工業大学 の 3 カ所で実施します。

実習は関連する講義を受けることが必須となっています（SEM実習を除く）。

講義のみの参加も可能です。

a) 講義： 10月5日(月）
産総研つくばセンターにおいて、産学官の専門家を講師としてお招きし、 超微細加工・ナノ計測・分析に関する原理や最近の動向について、実践的な講義を行って頂きます。

b) 実習：10月初旬から 11月中旬にかけて、産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、 東京工業大学 の各支援機関施設において、施設の装置を用いた 1 〜 3 日間の実習を行います。同一実習内容で複数の日程を設定した科目もあります。

　開催場所・日程・定員

産業技術総合研究所　つくばセンター
茨城県つくば市梅園 1-1-1 中央第二　 2-12 棟（ OSL 棟） 第 6 会議室
10月5日（月）9:50〜17:05 / 定員：50名

時間	講義番号	講義	所属/講師
9:50-10:00	開講式		産業技術総合研究所 秋永 広幸
10:00-10:55	1	走査型プローブ顕微鏡観察技術（SPM）	(株)島津製作所 粉川 良平
11:00-11:55	2	微細加工のためのプラズマ技術	東北大学 寒川 誠二
12:00-13:00	昼休み
13:00-13:55	3	集束イオンビーム加工観察技術（FIB）	(株)日立ハイテクノロジーズ 石谷 亨
14:00-14:55	4	透過型電子顕微鏡（TEM）	物質・材料研究機構 三石 和貴
14:55-15:10	休憩
15:10-16:05	5	X線回折（XRD）	(株)リガク 八坂 美穂
16:10-17:05	6	電子線描画技術（EB描画）	東京工業大学 宮本 恭幸

　費用

• 参加費用は無料です。但し、参加者の講義および実習開催場所までの交通費と宿泊代は参加者負担です。

　応募資格

• 学部卒業以上または、それと同等以上の経験を有する産官学の研究・開発従事者（大学院生は指導教官の許可を得ることが条件）。
• 超微細加工・ナノ計測・分析に関する経験不問。
• 実習期間中、各実習開催機関の安全ガイドラインと専任スタッフの指示を守れる事。

　募集期間

• 平成21年9月7日(月)〜9月14日(月)。原則として先着順。

　受講者の選定方法

• 上記の応募資格をもとに、原則として先着順とします。ただし、実習に関しては同一機関からの参加者が複数とならないように配慮します。

　その他

• 実習については、いずれか1コースのみ参加可能（複数参加は不可）。