実習内容

• 　物質・材料研究機構　／　産業技術総合研究所

  集束イオンビーム加工観察（ＦＩＢ） & 透過型電子顕微鏡（TEM）
  ・【FIB】 断面加工及び観察に関する実習 (産業技術総合研究所)
  ・【FIB】 任意パターン描画による加工に関する実習 (産業技術総合研究所)
  ・【FIB】 FIB加工による微小試料の摘出と薄膜加工に関する実習
  (産業技術総合研究所)
  ・【TEM】 構造と基本操作、軸調整の基本、明視野・暗視野観察、
  回折パターンの取得、高分解能観察（物質・材料研究機構）
  ・【TEM】 場合により、EELS、EDSの基礎（物質・材料研究機構）

• 　東京工業大学　／　産業技術総合研究所

  電子ビーム描画（EB描画）
  ・CADパターン設計の実習(産業技術総合研究所)
  ・ベクタ走査による描画の実習(産業技術総合研究所)
  ・三層レジスト形成実習(東京工業大学)
  ・重ねEB描画実習(東京工業大学)

• 　産業技術総合研究所

  プラズマ技術 [基礎コース]
  ・フォトリソグラフィの実習（i 線ステッパ）
  ・Siドライエッチングの実習
  ・電子顕微鏡観察による評価の実習
  X線回折(XRD) [基礎コース]
  ・X線回折測定の実習
  ・X線による反射率測定と解析方法の実習
  走査型電子顕微鏡(SEM/EDX) [基礎コース]
  ・基本的な像観察方法に関する実習
  ・照射方法による像の違いに関する実習
  ・エネルギー分散X線分析に関する実習